德国HEIMANN真空传感器HVS是微型的皮拉尼型传感器，基于HEIMANN的MEMS技术的加热电阻结构从而是传感器更小，更坚固，可以封装在TO封装中。

芯片型号：

HVS vac03g TO-8  压力范围1mbar - 10-5mbar

HVS vac03k TO-39  压力范围1mbar - 10-5mbar

HVS vac04  TO-39(单芯片)，TO-8(双芯片) 压力范围1-1000mbar

订购型号：Vac03g + Vac04 in TO8  ，Vac03g in TO8 ，Vac03k in TO39，Vac04 mit Brücke in TO39，Vac04 ohne Brücke in TO39

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